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 特种气体在集成电路领域的应用：特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料，处于半导体产业链的 上游，被称为半导体的“源”，主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体分类：标准气体严格---应称为标准校正气体，是一种高度均匀， 稳定性---和量值准确的气体，电子特种气体多少钱，可分为单元标准气体和多元标准气体，特种气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、、传感器校核等诸多领域的需求，特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 lpcvd 沉积 tco 工序用到 dezn、b2h6；非晶/微晶硅沉积工序用到 sih4、ph3/h2、 tmb/h2、ch4、nf3 等。

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