特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，工业特种气体厂家，被称为集成电路、液晶面板、led 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种标准气体严格---应称为标准校正气体，是一种高度均匀，稳定性---和量值准确的气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，故又称为气体标准物质。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。
特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，---是微电子技术的发展而发展起来的。特种气体分类：从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、和高装备制造等领域。特种气体的储存注意事项：储存高压气体***300m，液化气***3000kgs时，储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处，需设有安全警示牌。
特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于---规模集成电路及分离器 件、光电子等---领域；特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 pocl3 和 o2，减反射层 pecvd 工艺用到 sih4、nh3，刻蚀工艺用到 cf4；20 世纪 80 年代，电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高，随着气体供应商供气模式的引入，国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司，国内特种气体市 场逐步发展起来。
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