合肥工业特种气体生产厂家-安徽南环

 特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、led 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种气体的储存注意事项：高压容器内，存有内容物时，无论内容量多少，在该容器储存场地2m内，严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。

 特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 pocl3 和 o2，减反射层 pecvd 工艺用到 sih4、nh3，工业特种气体生产厂家，刻蚀工艺用到 cf4；特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类，电子特种气体（简称电子特气）是特种气体的 一个重要分支，是---规模集成电路（ic）、平面显示器件（lcd、led、oled）、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 lpcvd 沉积 tco 工序用到 dezn、b2h6；非晶/微晶硅沉积工序用到 sih4、ph3/h2、 tmb/h2、ch4、nf3 等。