安徽南环-老牌企业-巢湖电子特种气体

特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，特种气体分类：电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，电子特种气体，我国电子气体品种基本齐全，但数量和与 发达相比，尚有较大差距；特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 pocl3 和 o2，减反射层 pecvd 工艺用到 sih4、nh3，刻蚀工艺用到 cf4；

特种气体的重要性：在半导体工艺中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离 不开电子特气，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。灭菌特种气体主要应用于（绷带、缝线及手术器具）、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。特种气体分类：标准气体严格---应称为标准校正气体，是一种高度均匀， 稳定性---和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、、传感器校核等诸多领域的需求，